泰晶科技用于光刻工程的高精度配套设备取得新突破

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证券时报e公司讯，泰晶科技消息，公司最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备—全自动晶圆调频及测选机，近日又取得新突破，该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测，配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。这一设备的研制成功，不仅填补了行业空白，而且保证了关键性技术的保密性，为公司正在进行的大规模扩产提供了更优的方案。

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