ASML新世代EUV设备再创天价

ASML新世代EUV设备再创天价

 

ASML在2022年初收到来自英特尔的最新款High-NA EUV的首份订单，据介绍，EXE:5200为0.55 数值孔径High-NA EUV微影技术首度商转，英特尔计划该设备2025年量产，业界估计该设备报价超过3.4亿美元（约合人民币21.56亿），较前一代价格增逾13%。